微型傳感器所具備的基本功能以及它的特點

發布時間：2023年04月03日 18時49分52秒

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　　與(yu) 傳(chuan) 統傳(chuan) 感器相比微型傳(chuan) 感器它具有許多新的特性，可以彌補傳(chuan) 統傳(chuan) 感器的不足，同時具有廣泛的應用前景，越來越受到重視。本文詳細介紹了一些微型傳(chuan) 感器的結構和原理，闡述了微型傳(chuan) 感器的基本功能及它的特點。

　　微型傳(chuan) 感器所具備的功能及特點如下：

　　由於(yu) 傳(chuan) 統傳(chuan) 感器材的製造工藝與(yu) 半導體(ti) IC工藝不兼容，無論是功能、規模還是成本，都無法適應IC技能製造的高速、高密度、小體(ti) 積、低成本信號處理設備，從(cong) 而限製了整個(ge) 係統的集成、批量和功能的充分發揮。

　　微型傳(chuan) 感器不是傳(chuan) 統傳(chuan) 感器的簡單物理縮小產(chan) 品，而是通過MEMS加工技術製備的新一代傳(chuan) 感器材，它具有小型化、集成化的特點，具有新的工作機製和物化效應，可以大大提高傳(chuan) 感器的功能。信號傳(chuan) 輸前可以擴大信號，然後減少幹擾和傳(chuan) 輸噪音提高信噪比，從(cong) 而在芯片上集成反應線和補償(chang) 線，可提高輸出的線性和頻響特性，從(cong) 而減少錯誤，提高相應的靈敏度。

　　此外微型傳(chuan) 感器同時還具有陣列性，除了靈敏元件可以集成在一個(ge) 芯片上以外，還具有擴大電路和補償(chang) 線路的特點。並且可以在同一個(ge) 芯片上集成多個(ge) 相同的靈敏元件，兼容性突出等特點便於(yu) 與(yu) 微電子設備集成和包裝。

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