壓力響應範圍是傳感器性能評估的一項重要指標

發布時間：2022年07月04日 18時12分23秒

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　　本文為(wei) 大家講解的是關(guan) 於(yu) 壓力響應範圍是傳(chuan) 感器性能評估的一項重要指標，下麵偉(wei) 烽恒小編將從(cong) 極低壓和高壓兩(liang) 個(ge) 角度為(wei) 大家進行簡單闡述。由於(yu) 大多數傳(chuan) 感器在正常壓力範圍內(nei) 擁有出色的響應能力，但是在極低壓下(低於(yu) 壓力檢測限)卻不響應了。

　　基於(yu) 這個(ge) 問題，很多研究者提出了相應的解決(jue) 辦法。例如Dagdeviren等在傳(chuan) 感陣列單元中引入PZT設計了一種小巧輕薄並且可拉伸30%的壓電型傳(chuan) 感器，它可以和皮膚很好地貼合。由於(yu) 場效應晶體(ti) 管的放大效應，該傳(chuan) 感器擁有超低的檢測極限(可以感應到0.005Pa的壓力)。

　　除了擴展低壓區的檢測限，壓力傳(chuan) 感器也需要在高壓區具有良好的響應。前麵已經提到，很多研究工作通過引入活性層或電極上的微結構來提高器件的靈敏度，包括金字塔、尖錐狀、球狀微結構等，這些結構都屬於(yu) 穩定結構。

　　由於(yu) 軟材料的不可壓縮性，以及這些結構受壓時發生硬化的現象，采用微結構的傳(chuan) 感器很容易在壓力較大時信號達到飽和，最近我們(men) 課題組製備了具有多級非穩態自補償(chang) 結構的離電型壓力傳(chuan) 感器有效地解決(jue) 了上述問題。

　　該工作采用一種易於(yu) 失穩的結構，它在受壓失穩後，將嵌入到微溝槽中，有效地提高結構的可壓縮性。在該策略指導下傳(chuan) 感器在極寬的壓力響應範圍內(nei) (0.08 Pa—360 kPa)的靈敏度均超過了220kPa–1.在高壓區的靈敏度超過了之前結果達4個(ge) 數量級。

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