壓力傳感器製造工藝的幾種常見方法

發布時間：2022年06月29日 18時43分31秒

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　　壓力傳(chuan) 感器可以采用不同的方法來製造，其三種常見的方法是自頂向下光刻，自底向上製造如可控橫向外延和原子層沉積以及自組裝壓力結構通常使用脂質體(ti) 等生物分子，分析物的生化檢測將是轉換成電信號。

　　方法1：自頂向下

　　自頂向下光刻是當今大多數集成電路的製造方式，它涉及從(cong) 一些較大的材料開始然後雕刻出所需的形式，這些精心製作的設備尤其是那些用於(yu) 帶有壓力傳(chuan) 感器的特定MEMS的設備，通常隻有這種尺寸，但其中最新的已經開始包括發射器大小的組件。

　　方法二：自下而上

　　另外一種方法就是通過自下而上，該方法涉及將壓力傳(chuan) 感器組裝成更微小的組件最有可能是單個(ge) 原子或分子，這將涉及到將特定物質的原子一個(ge) 一個(ge) 地移動到特定位置，盡管這是在實驗室測試中使用原子力顯微鏡等工具實現的，但由於(yu) 邏輯原因這仍然是一個(ge) 很大的困難，尤其是在大規模生產(chan) 和經濟的情況下，這個(ge) 過程主要就是用於(yu) 構建自組裝壓力傳(chuan) 感器的起始分子。

　　方法三：自組裝

　　第三種方法可以保證更快的結果它涉及自組裝壓力傳(chuan) 感器的特定壓力結構，通常需要一整套已經自動組裝成成品的組件能夠在實驗室中為(wei) 所需的傳(chuan) 感器準確複製這種效應意味著科學家，可以通過讓大量分子在很少或沒有外部影響的情況下自行組裝，而不必手動組裝每個(ge) 壓力傳(chuan) 感器從(cong) 而做得更快。

　　所以壓力傳(chuan) 感器與(yu) 其他有用的技術即微機電MEMS係統及微流控設備相結合的趨勢越來越大。有用的例子包括將壓力信號施加到矽基板上，從(cong) 而實現更有效的氣壓和液壓傳(chuan) 感應用，用於(yu) 檢測血液樣本中膽固醇的微流體(ti) 裝置中的金納米線使用矽上碳納米管CNT檢測有害的痕量氨， 在基於(yu) 流體(ti) 的MEMS設備中檢測流體(ti) 樣品中的微生物。

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