MEMS進氣壓力傳感器有哪些特點

發布時間：2022年04月19日 18時52分50秒

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　　MEMS進氣壓力傳(chuan) 感器具有結構堅固，抗震性好、尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢複快、驅動電路簡單、穩定性好、壽命長等特點。可檢測包含燃氣、煙霧、氫氣、一氧化碳、氨氣、硫化氫、酒精、口氣、VOC等多種氣體(ti) 。

　　MEMS進氣壓力傳(chuan) 感器是基於(yu) MEMS工藝的基微熱板和清潔空氣中低導電的金屬氧化物半導體(ti) 材料組成。當環境空氣中有被檢測氣體(ti) 存在時，傳(chuan) 感器的電導率發生變化，該氣體(ti) 的濃度越高，傳(chuan) 感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為(wei) 與(yu) 該氣體(ti) 濃度相對應的輸出信號。

　　熱電堆溫度傳(chuan) 感器是基於(yu) MEMS技術，其主要是由數百對熱電偶串聯而成。它采用的是塞貝克原理，當目標與(yu) 環境之間存在溫度差時，這時傳(chuan) 感器輸出對應的電壓來檢測出目標存在或目標的溫度等。

　　熱電堆溫度傳(chuan) 感器具有高紅外響應率和高重複性以及高可靠和穩定性等特點。它在額溫/耳溫等非接觸體(ti) 溫測量、家用電器(空調、護發吹風機、油煙機等)溫度測量與(yu) 控製以及空氣調節係統、電力管理係統等領域應用廣泛。

　　微流量傳(chuan) 感器采用新一代MEMS進氣壓力傳(chuan) 感器芯片技術、它是利用熱力學原理檢測對流通道中氣體(ti) 介質的流動，具有良好的精度和重複性。可精確測量極小流量，精度高，響應速度快，重複性好，經過完全校準和溫度補償(chang) ，同時具有線性模擬電壓輸出，方便使用。

　　微流量傳(chuan) 感器在醫療儀(yi) 器(呼吸機、氧氣機等)、便攜式儀(yi) 器、工業(ye) 過程控製及空氣和環境保護等領域有著廣泛應用。塑封壓力傳(chuan) 感器采用的是高精度MEMS進氣壓力敏感芯片及成熟的生產(chan) 工藝封裝而成的傳(chuan) 感器。它具有尺寸小、精度高、寬工作溫度範圍、常溫高精度等特點。

　　MEMS塑封壓力傳(chuan) 感器常被應用於(yu) 手持胎壓計、電子血壓計、空壓表、汽車胎壓檢測、過程控製係統、壓力校準儀(yi) 器、高度計、大氣壓力測量等領域。MEMS進氣壓力傳(chuan) 感器在物聯網、智能製造、智能物流等方麵起著非常重要的作用。近年來，國家傳(chuan) 感器產(chan) 業(ye) 發展的政策環境持續優(you) 化，隨著“製造強國戰略”、“互聯網+”行動計劃的大力推進，傳(chuan) 感器技術及傳(chuan) 感器產(chan) 業(ye) 的重要性將日益凸顯，可以預見，未來傳(chuan) 感器技術將是我國科技發展的重中之重!

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