壓力傳感器的工作原理是怎樣的?
壓力傳(chuan) 感器可使用多種不同的技術來提供精確的結果。基於(yu) 應變的壓力傳(chuan) 感器使用應變片作為(wei) 壓力敏感元件,通常是將金屬箔式應變片或是膜片粘合到圓柱形彈性體(ti) 上。應變原理的壓力傳(chuan) 感器最大優(you) 點是具有極高剛度,可測量高達15000bar的極高壓力。電連接通常通過惠斯通電橋完成,具有極高的精確性和一致的測量結果。
電容式壓力傳(chuan) 感器使用壓力腔和膜片來產(chan) 生可變電容,當施加壓力時隔膜會(hui) 變形,此時電容也會(hui) 相應的減小。通過測量電路即可輸出與(yu) 電壓成一定關(guan) 係的電信號。這些傳(chuan) 感器僅(jin) 限於(yu) 大約40bar的低壓。
壓阻式壓力傳(chuan) 感器它是由一個(ge) 主要矽製成的膜片組成,采用集成的應變片來檢測施加的壓力而產(chan) 生的應變,通常采用惠斯通電橋來降低靈敏度並增加輸出。由於(yu) 所使用的材料壓力限製在1000bar左右。
與(yu) 上述技術不同的是,諧振式壓力傳(chuan) 感器使用測量機構的共振頻率的變化來測量由施加的壓力引起的應力。根據這種傳(chuan) 感器的設計諧振元件可以暴露於(yu) 介質,其中諧振頻率取決(jue) 於(yu) 介質的密度。通常這些傳(chuan) 感器會(hui) 對衝(chong) 擊和振動敏感。
另外不使用測量體(ti) 的其它壓力傳(chuan) 感器有熱或電離壓力傳(chuan) 感器,其利用由於(yu) 帶電粒子的流動中的密度變化來測量所施加的壓力。
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