MEMS傳感器分別有哪些類型呢?
MEMS傳(chuan) 感器種類繁多,主要的MEMS傳(chuan) 感器包括運動傳(chuan) 感器、壓力、麥克風、環境、光傳(chuan) 感器等。其中運動傳(chuan) 感器可分為(wei) 陀螺儀(yi) 、加速度計、磁力計等,那麽(me) MEMS傳(chuan) 感器分別有哪些類型呢?下麵就由偉(wei) 烽恒小編為(wei) 大家介紹以下幾個(ge) 類型吧。
1、MEMS運動傳(chuan) 感器
MEMS運動傳(chuan) 感器主要有加速度計、陀螺儀(yi) 、磁力計三大類,加速度計和陀螺儀(yi) 可以集成為(wei) 六軸慣性傳(chuan) 感器;磁力計和加速度計集成為(wei) 電子羅盤(e-compass),加速度計、陀螺儀(yi) 和磁力計可集成為(wei) 9軸傳(chuan) 感器。 MEMS陀螺儀(yi) 是通過陀螺儀(yi) 的核心原理科裏奧利力測角速度的;MEMS加速度計可以感知任意方向上的加速度。MEMS磁力計通過測試磁場強度和方向可以定位設備的方位。 慣性傳(chuan) 感器(加速度計+陀螺儀(yi) )廠家有:意法半導體(ti) (ST)、旭化成微電子(AKM )、應美盛(InvenSense)、羅伯特.博世等。 電子羅盤(磁力計+加速度計)廠家有:旭化成微電子(AKM )、雅馬哈(Yamaha)、阿爾卑斯(Alps Electric) 、美新半導體(ti) (MEMSIC)(2016年7月被華燦光電收購)等。
2、MEMS麥克風
MEMS麥克風在消費電子、汽車、醫療等領域廣泛的應用。目前幾乎每部智能手機至少使用一個(ge) MEMS麥克風,高端的智能手機甚至使用三個(ge) 麥克風,分別用於(yu) 語音采集、噪音消除、改善語音識別,而iphoness 6S已經采用了4個(ge) MEMS麥克風。在物聯網的時代,大量的物聯網設備也將使用MEMS麥克風。蘋果iphoness 5S和5C采用兩(liang) 顆樓氏電子(Knowles)、一顆是瑞聲科技(AAC)的MEMS麥克風。
3、MSME壓力傳(chuan) 感器
壓力傳(chuan) 感器主要用於(yu) 檢測壓力,根據量程範圍可分為(wei) 低壓、中壓、高壓壓力傳(chuan) 感器。MEMS壓力傳(chuan) 感器則屬於(yu) 低壓傳(chuan) 感器,主要檢測原理有矽電容式和矽壓阻式。 汽車和醫療是MEMS壓力傳(chuan) 感器最大的應用領域。與(yu) MEMS慣性傳(chuan) 感器相比,目前MEMS壓力傳(chuan) 感器在消費電子與(yu) 移動領域的應用不是特別廣泛,主要包括潛水與(yu) 運動手表、計步器和徒步高度計,部分應用於(yu) 飲水機、洗衣機、太陽能熱水器等家電產(chan) 品充當水位傳(chuan) 感器。未來智能手機、平板電腦可能集成MEMS壓力傳(chuan) 感器用以檢測大氣壓,或充當高度計以支持室內(nei) 定位服務。
4、MEMS環境傳(chuan) 感器
MEMS濕度傳(chuan) 感器在工業(ye) 控製、氣象、農(nong) 業(ye) 、礦山檢測等行業(ye) 中得到了廣泛的應用。MEMS氣體(ti) 傳(chuan) 感器主要用於(yu) 檢測目標氣體(ti) 的成分、濃度等。 還有森斯特(北京)電子科技有限公司(Nenvitech)、深圳市戴維萊傳(chuan) 感技術開發有限公司、武漢四方光電科技有限公司、速麗(li) 德(Solidsense)、城市技術(CityTechnology) 等。
5、MEMS生物傳(chuan) 感器
MEMS生物傳(chuan) 感器目前處於(yu) 發展初期。MEMS生物傳(chuan) 感器是利用生物分子探測生物反應信息的器件,被列為(wei) 新世紀五大醫學檢驗技術之一,是現代生物技術與(yu) 微電子學、化學等多學科交叉結合的產(chan) 物。未來MEMS生物傳(chuan) 感器在醫學、食品工業(ye) 、環境監測等領域具有廣闊發展空間。
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