MEMS壓力傳感器有哪幾種類型？

發布時間：2022年03月17日 17時21分12秒

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　　MEMS即微電子機械係統，它所指的是機械、電氣和MEMS信號處理係統的集成。而壓力傳(chuan) 感器是MEMS最早的產(chan) 品之一。根據工作原理可分為(wei) 壓阻式、電容式和壓電式。目前MEMS壓力傳(chuan) 感器的類型主要有矽壓阻式壓力傳(chuan) 感器和矽電容式壓力傳(chuan) 感器兩(liang) 種，這兩(liang) 種都是用在矽片上產(chan) 生的微型機械電子傳(chuan) 感器。下麵就由偉(wei) 烽恒小編來為(wei) 大家介紹一下，希望能夠幫助到大家。

　　第一種類型：矽壓阻式壓力傳(chuan) 感器

　　矽壓阻式壓力傳(chuan) 感器采用高精度半導體(ti) 電阻應變片構成的惠斯通電橋作為(wei) 機電轉換的測量電路。它具有測量精度高、功耗低、成本低等優(you) 點。惠斯通電橋的壓阻傳(chuan) 感器輸出為(wei) 零，如果沒有壓力變化，幾乎就沒有功耗不耗電了。

　　MEMS矽壓阻式壓力傳(chuan) 感器是采用固定在其周圍的圓形應力杯的矽膜內(nei) 壁。利用MEMS技術將四塊高精度半導體(ti) 應變計直接刻在表麵應力最大的地方，形成惠斯通測量橋。作為(wei) 機電轉換測量電路，它直接將壓力的物理量轉換為(wei) 電能，其測量精度能達0.01-0.03%FS。

　　第二種類型：電容式壓力傳(chuan) 感器

　　電容式壓力傳(chuan) 感器使用MEMS技術在矽片上製作出橫隔柵狀。上下兩(liang) 根橫隔柵狀成為(wei) 一組電容式壓力傳(chuan) 感器，上橫隔柵在受壓力的情況下從(cong) 而往下移動來改變上下兩(liang) 根橫隔柵之間的間距和板之間的電容大小，即壓力=電容量。

　　MEMS壓力傳(chuan) 感器可以采用類似於(yu) 集成電路的設計技術和製造工藝，從(cong) 而進行高精度、低成本的大批量生產(chan) ，在呼吸機、汽車、耳機、手機等領域有著廣泛的應用。

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