壓力傳感器發展的主要方向
壓力傳(chuan) 感器是一種把非電量轉換為(wei) 電信號的器件,在生產(chan) 測量中的應有十分廣泛,常見於(yu) 各種生產(chan) 自動化控製領域,對提高設備精度、安全及質量具有重要作用。壓力傳(chuan) 感器的發展主要方向是哪些
1:光纖壓力傳(chuan) 感器
這是一類研究成果較多的傳(chuan) 感器,但投入實際領域的並不是太多。工作原理是利用敏感元件受壓力作用時的形變與(yu) 反射光強度相關(guan) 的特性,由矽框和金鉻薄膜組成的膜片結構中間夾了一個(ge) 矽光纖擋板,有壓力的情況下,光線通過擋板的過程中會(hui) 發生強度的改變,通過檢測這個(ge) 微小的改變量,就能測得壓力的大小。這種敏感元件已被應用與(yu) 臨(lin) 床醫學,用來測擴張冠狀動脈導管氣球內(nei) 的壓力。可預見這種壓力傳(chuan) 感器在顯微外科方麵一定會(hui) 有良好的發展前景。同時,加工與(yu) 健康保健方麵,光纖傳(chuan) 感器也在快速發展。
2:電容式真空壓力傳(chuan) 感器
E+H公司的電容式壓力傳(chuan) 感器是由一塊基片和厚度為(wei) 0.82.8mm氧化鋁(Al2O3構成,其間用一個(ge) 自熔焊接圓環釺焊在一起。該環具有隔離作用,不需要溫度補償(chang) ,可以保持長期測量的可靠性和持久的精度。測量方法采用電容原理,基片上一電容CP位於(yu) 位移最大的膜片的中央,而另一參考電容CR位於(yu) 膜片的邊緣,由於(yu) 邊緣很難產(chan) 生位移,電容值不發生變化,CP變化則與(yu) 施加的壓力變化有關(guan) ,膜片的位移和壓力之間的關(guan) 係是線性的遇到過載時,膜片貼在基片上不會(hui) 被破壞,無負載時會(hui) 立刻返回原位無任何滯後,過載量可以達到100%,即使是破壞也不會(hui) 泄漏任何汙染介質。因此具有廣泛的應用前景。
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